Quyruq qazı təmizləyici qurğular, sih4, sih2cl2, ph3, b2h6, teos, h2, co, nf3, sf6, C2F6, WF6, NH3, NH3, NH3, NH3, NH3, NH3, NH3, NH3, NH3, NH3, N2O və s.
Egzoz qazı müalicə üsulu
Egzoz qazının müalicəsinin xüsusiyyətlərinə görə, müalicəni dörd növ müalicəyə bölmək olar:
1. Su yuma növü (korroziv qazların müalicəsi)
2. Oksidləşdirici növ (yanan və zəhərli qazlarla məşğul olmaq)
3. Adsorbsiya (müvafiq egzoz qazı ilə məşğul olmaq üçün adsorbsiya materialının növünə görə).
4.Plasma yanma növü (bütün növ egzoz qazları müalicə edilə bilər).
Hər bir müalicənin hər növü öz üstünlükləri və çatışmazlıqları, habelə tətbiqetmə dairəsidir. Müalicə üsulu suyun yuyulduqda, avadanlıq ucuz və sadədir və yalnız suda həll olunan qazları idarə edə bilər; Elektrikli suyun yuyulma növünün tətbiqi çeşidi suyun yuyulma növündən daha yüksəkdir, lakin əməliyyat dəyəri yüksəkdir; Quru tipli yaxşı müalicə səmərəliliyi və tıxandırılmaq və ya axan qaz axınını üçün tətbiq edilmir.
Yarımkeçirici sənayesində ümumiyyətlə istifadə olunan kimyəvi maddələr və onların yan məhsulları kimyəvi xüsusiyyətlərinə və onların fərqli silsilələrinə görə təsnif edilə bilər:
1. Sih4h2 və s. Kimi yanan qazlar.
2. AS3, PH3 və s. Kimi zəhərli qazlar.
3. HF, HCL və s. Kimi aşındırıcı qazlar.
4. CF4, NF3 və s. Kimi istixana qazları.
Yuxarıda göstərilən dörd qazın ətraf mühitə və ya insan bədəni üçün zərərli olduğu üçün atmosferə birbaşa yayılmasının qarşısını alır, buna görə də ümumi yarımkeçirici zavodu yalnız suyu sürüşdürən işlənmişdir, buna görə də onun tətbiqi çox məsafəli suda həll olunan qazlarla məhdudlaşır və yarımkeçirici prosesi egzoz qazının dəyişkən və incə bölgüsü ilə məşğul ola bilməz. Buna görə də, egzoz qazı problemini kiçik bir şəkildə həll etmək üçün hər bir prosesdən əldə edilən qaz xüsusiyyətlərinə uyğun olaraq müvafiq egzoz qaz müalicəsi avadanlıqlarını seçmək və uyğunlaşdırmaq lazımdır. İşçi bölgəsi, əsasən mərkəzi egzoz qazma sistemindən uzaq olduğundan, tez-tez qaz xüsusiyyətləri ilə əlaqədar olaraq boru kəmərində kristallaşma və ya toz yığılmasına səbəb olur, qaz sızmasına səbəb olan boru kəmərinin tıxanması nəticəsində, hətta partlayışa səbəb ola bilər, sayt işçilərinin iş təhlükəsizliyini təmin edə bilməz. Buna görə, iş bölgəsində iş yerində durğun işlənmiş qazın azaldılması üçün iş bölgəsində, iş yerində durğun işlənmiş qazın xüsusiyyətlərinə uyğun olan kiçik bir egzoz qaz müalicəsi avadanlıqlarını konfiqurasiya etmək lazımdır.
Time vaxt: avqust-10-2023