Yarımkeçirici sənayesində qazların istifadəsi 1950-ci illərin əvvəllərinə 1960-cı illərin əvvəllərinə aiddir. Yarımkeçirici istehsal prosesi zamanı qazlar əsasən saf və keyfiyyətini təmin etmək üçün yarımkeçirici materialları təmizləmək və qorumaq üçün istifadə olunur. Ən çox istifadə olunan qazlar arasında azot və hidrogen var.
Yarımkeçirici texnologiya inkişaf etdirilən və istehsal proseslərinin yaxşılaşdırılması davam etdiyi üçün qazlara olan tələb artdı. 1970-ci ildə yarımkeçirici istehsal texnologiyasının daha da inkişaf etdirilməsi, nazik filmlərin incə və çökməsi kimi əsas proseslərdə qazların tətbiqi tədricən artdı və flüorid qazları (məsələn, SF6) və oksigen də tez-tez istifadə edilən və çökmə qazları istifadə olunur. 1980, inteqrasiya olunmuş sxemlərin inkişafı və onlara tələbatın artması ilə qazlara olan tələbin daha da artdığını gördü. Hidrogen, hidrogen yumrusu və hidrogen buxarının döşənməsi də daxil olmaqla istehsal prosesində geniş istifadə edilmişdir. 1990-cı ildən bu günə qədər yüksək saflıq qazlarına və konkret qazlara tələbat artdı, çünki yarımkeçirici cihaz ölçüləri kiçiltib və yeni proseslər tətbiq olundu. Məsələn, həddindən artıq ultrabənövşəyi litoqrafiyanın (EUV) tətbiqi, azot və hidrogen kimi olduqca yüksək saflıq qazlarının istifadəsini tələb edir.
Yarımkeçirici qaz daha çox məhsulun inkişafı ilə artmaqda artmaqda davam edir və daha çox məhsul aşkar edildikdə, qazın da təhlükə mənbəyinə, qaz aşkarlanması məhsulları, qaz klapanları, qazın təzyiqi ölçüləri, qaz sızması ölçüsü və s.
Təzyiq tənzimləyiciləri: Təzyiq tənzimləyiciləri qaz təzyiqini idarə etmək üçün istifadə olunan cihazlardır. Adətən bir tənzimləyici klapan və təzyiq sensorundan ibarətdir. Təzyiq tənzimləyiciləri yüksək təzyiqli qaz daxil edir və xüsusi tətbiq tələblərinə cavab vermək üçün klapanı tənzimləyərək çıxış qazının təzyiqini sabitləşdirir. Təzyiq tənzimləyiciləri, sənaye, istehsal və laboratoriyalar, eləcə də yarımkeçirici sənayesində, digərləri arasında, qaz təchizatının sabitliyini və təhlükəsizliyini təmin etmək üçün geniş istifadə olunur.
Qaz klapanları: Qaz klapanları qaz axınını idarə etmək və qaz keçidlərini bağlamaq üçün istifadə olunur. Adətən qaz axını açan və ya bağlayan bir / off funksiyası var. Əl ilə klapanlar, elektrik klapanları və pnevmatik klapan da daxil olmaqla müxtəlif növ qaz klapanları var. Qaz sistemlərində qaz sistemlərində, təzyiq və axın sürətini idarə etmək üçün geniş istifadə olunur.
Qaz Təzyiq Qapıları: Qazın təzyiqi ölçüləri bir qazın təzyiq səviyyəsini ölçmək üçün istifadə olunur. Onlar ümumiyyətlə təzyiq dəyişikliklərini izləmək və onların təhlükəsiz hüdudlarında olduqlarını təmin etmək üçün qaz sistemlərindəki kritik yerlərdə quraşdırılırlar. Qaz təzyiq cihazları sənaye, istehsal və laboratoriyalarda geniş istifadə olunur və yarımkeçirici sənayesi də iştirak edir.
Qaz sızması detektorları: Qaz sızmaları qaz sistemlərində sızmaları aşkar etmək üçün istifadə olunur. Aşkar edirlərQaz sızmalarının varlığı və sızma qəzalarının qarşısını almaq üçün vaxtında hərəkətə keçə bilməsi üçün bir həyəcan siqnalı. Qaz sızma detektorları sənaye, kimya, neft və qaz tətbiqlərində geniş istifadə olunur və yarımkeçirici sənayesi də iştirak edir.
Time vaxt: fevral 20-2024