Yarımkeçirici sənayenin inkişafı inkişafı ilə dəstəkləyici layihələri üçün daha yüksək tələblər irəli sürüldü. Xüsusi qazların tədarükü təsirli bir sistem yaratmayıb və qarışıq silindrlərin, xaotik idarəetmə və uyğunsuz qazların qarışdırılması problemlərinin daha ciddi olması, qaz istehlakının təhlükəsizliyinə çox təsir edir. Beləliklə, xüsusi qaz kəməri layihəsində qaz quyruğu qazı ilə necə davranmaq olar? Bu gün Shenzhen WoFei Technology Co-nun heyəti:
Xüsusi qaz quyruğu qaz müalicəsi
Sağlamlıq və ətraf mühitdə xüsusi qazlar böyük zərər verəcək, xüsusi qaz quyruğu qazı ilə necə mübarizə aparacaq, hansı avadanlıqla, burada dərin bir giriş olacaqdır.
Xüsusi qaz quyruq qazının vəziyyəti
Quyruq qazı qaçılmaz olaraq xüsusi qaz sisteminin törəməsi kimi mövcuddur. Keçmişdə, bir çox kollec və universitetlərdə, laboratoriya qaz istehlakı böyük deyil, inşaat bölməsinin sahibi quyruq qazının emissiya problemi ilə, daha çox yarımkeçirici fabrikləri olan xüsusi qaz quyruğu qazının istehsalının daha çox diqqətini daha da yüksək və daha çox diqqət yetirir. Onda necə axıdılmaq olar, necə axıdılması bir çox istifadəçinin qarşısında bir problem halına gəldi.
Xüsusi qaz sisteminin quyruq qazının emissiya müalicəsi cihazının müalicə üsulu:
Quyruq qazı müalicə cihazı tipi təmizlənəcək işlənmiş egzozda xüsusi qazın xüsusiyyətlərinə görə seçilməlidir və uyğunsuz xüsusi qazlar quyruq qazı müalicə cihazı ayrıca qurulmalıdır;
Quyruq qaz müalicəsi cihazı GR, GC və digər xüsusi qaz avadanlıqlarına yaxın olmalıdır.
Xüsusi qazların quyruq qazı müalicəsi metodu quru müalicə üsulu adsorbsiya, nəm sürüşmə, istilik parçalanma müalicəsi, yanma müalicəsi, plazma parçalanma müalicəsi, seyreltmə müalicəsi və yuxarıdakı üsulların birləşməsidir.
Time vaxt: May-14-2024