Yarımkeçirici bazarı böyüdükcə təmizlik və dəqiqlik üçün standartlar daha sərt olur. Yarımkeçirici istehsalın keyfiyyətində müəyyən edən amillərdən biri prosesdə istifadə olunan qazlardır. Bu qazlar istehsal prosesində bir çox rol oynayır, o cümlədən:
Həssas prosesə nəzarət
Çirklənmə qarşısının alınması
Metallurgiya mülkiyyəti genişləndirilməsi
Bu rolları effektiv şəkildə yerinə yetirmək üçün qaz təchizatı və paylama sistemi səmərəli olmalıdır. Yarımkeçirici istehsalda istifadə olunan qaz işləmə sistemlərinin dizaynı, yarımkeçiricilərin etibarlı və yüksək keyfiyyətli istehsalını təmin etmək üçün möhkəm komponentlər və xüsusi məclislər tərəfindən dəstəklənməlidir.
Yarımkeçirici istehsalda istifadə olunan qazlar
Yarımkeçiricilər istehsal prosesi prosesin müxtəlif mərhələlərində müxtəlif qazların istifadəsini tələb edir.
Azot, hidrogen, argon və helium kimi ümumi qazlar isə təmiz formalarında istifadə edilə bilər, müəyyən proseslər ixtisaslaşmış qarışıqlar tələb edə bilər. Silanlar və ya siloksanlar, hexafluorides, halides və karbohidrogenlər yarımkeçirici istehsalda istifadə olunan ixtisas qazlarından bir neçəsidir. Bu qazların bir çoxu təhlükəli və ya yüksək reaktiv ola bilər, qaz sistemləri üçün komponentlərin seçimində və dizaynında problem yaradan problem yarada bilər.
Bəzi nümunələr:
\ Hidrogen və helium, kiçik atom ölçüsü və çəkisi səbəbindən boru kəmərindən və uyğun sistemlərdən asanlıqla sızaya bilər.
\ Silanes yüksək yandırılır və havada kortəbii yandırıla bilər (Autoignite).
\ Azot difluori, çökmə, etching və kameranın təmizlənməsi mərhələləri ətraf mühitə sızdırıldıqda güclü istixana qazı olur.
\ Hidrogen Fluoride (İtirmə Qaz) metal boru kəmərinə çox aşındırıcıdır.
\ TrimetilLigallium və Ammonyak idarə etmək çətin ola bilər - onların temperaturu və təzyiq tələblərinə kiçik dalğalanmalar çökmə prosesinə təsir göstərə bilər.
Bu qazların mənfi təsirlərini minimuma endirmək üçün idarəetmə prosesi şərtləri sistem dizaynı zamanı prioritet olmalıdır. İnşaat prosesi zamanı AFK Diafraqm klapanları kimi ən yüksək keyfiyyətli komponentlərdən istifadə etmək eyni dərəcədə vacibdir.
Sistem dizayn problemlərini həll etmək
Yarımkeçirici dərəcəli qazlar yüksək saflıq hallarının əksəriyyətindədir və inert şəraiti və ya istehsal prosesinin müxtəlif mərhələlərində reaksiyaları, məsələn, etch və çökmə qazı kimi reaksiyaları təmin edir. Bu cür qazların sızması və ya çirklənməsi mənfi təsir göstərə bilər. Buna görə də, bu, hermetik cəhətdən möhürlənmiş və korroziyaya davamlı olması, çirklənmə ehtimalı olmadığını və son dərəcə yüksək səviyyədə təmizlik səviyyəsinin saxlanıla biləcəyini təmin etmək üçün istifadə olunan sistem komponentlərinin hamar bir səthdə (elektrolitik cilalama) olması vacibdir.
Bundan əlavə, bu qazların bəziləri istənilən proses şərtlərinə nail olmaq üçün qızdırıla və ya soyudula bilər. Yaxşı izolyasiya edilmiş komponentlər son məhsulun səmərəli performans üçün kritik olan temperatur nəzarətini təmin edir.
Mənbə girişindən istifadə nöqtəsinə qədər AFK-nin geniş komponentləri, yarımkeçirici təmiz otaqlarda və vakuum otaqlarında tələb olunan ultra yüksək təmizlik, temperatur, təzyiq və axın idarəsini dəstəkləyir.
Yarımkeçirici Fabs-də keyfiyyətli komponentləri olan dizayn sistemləri
Keyfiyyət komponentlərinin və dizayn optimallaşdırmasının rolu dəqiq nəzarət və yarımkeçiricilərin təhlükəsiz istehsalında vacibdir. İstifadə olunmuş komponentlər, istehsaldır. Müxtəlif mərhələlərin müxtəlif mərhələlərində tələb olunan müxtəlif proses şərtlərinə uyğundur.
Ultra yüksək təmizlik
Sızma fənləri
Temperaturun nəzarətində izolyasiya
Təzyiq nəzarəti
Korroziyaya qarşı müqavimət
Elektrolitik cilalama müalicəsi
Time vaxt: Oktyabr-09-2023