Elektron ixtisas qazlarının istehsal prosesi sintez, təmizləyici, doldurma, təhlil və sınaq, qarışdırma və mütənasib kimi bir neçə prosesi əhatə edir. Saflıq və çirkli məzmunu üçün aşağı axınçı istehsal tələblərinə cavab vermək üçün təmizlənmə prosesi çox vacibdir. Yuxarıdakı sintez qazının və ya xam qazın tərkibindən asılı olaraq, aşağı temperatur distillə və ya çox mərhələli təmizlənmə aparılır.
Yüksək təmizlik tələbləri
Elektron xüsusi qazların hazırlanması prosesi kimyəvi istehsal prosesinə aid olan iki əsas sintez hazırlığı və təmizlənmənin iki əsas blokuna bölünə bilər. İstehsal boru kəmərinin ölçüsü böyükdür və xüsusi təmizlik səviyyəsi tələbi yoxdur. Aşağı axından sonra məhsul qazla doldurulur və hazırlıq üçün qarışıqdır. İstehsal boru kəməri kiçikdir və təmizlik səviyyəsində tələblərə malikdir. Yarımkeçirici istehsal prosesinin standart spesifikasiyasına cavab vermək lazımdır.
Yüksək möhürləmə tələbləri
Onların kimyəvi fəaliyyətinə görə, elektron ixtisas qazları da istehsal prosesi sisteminin materiallarına və möhürlənməsinə də yüksək tələblər yerləşdirir. Yarımkeçirici istehsalın tələbləri kimi, çirklərin tətbiqi və ya xüsusi qazların korroziyasından yaranan interfeys sızmasının qarşısını alır. Sistem, çirklərin tətbiq edilməsinin və ya xüsusi qazların korroziyasından yaranan interfeysin sızmasının qarşısını almaq üçün də istifadə edilə bilər.
Yüksək keyfiyyətli sabitlik tələbləri
Elektron ixtisas qazlarının keyfiyyətinə saf və çirk hissi tərkibi kimi bir sıra göstəricilər daxildir. Göstəricilərin hər hansı bir dəyişməsi aşağı axınlı yarımkeçirici istehsal prosesinin nəticələrinə təsir edəcəkdir. Buna görə, elektron xüsusi qaz məhsulunun göstəricilərinin ardıcıllığını təmin etmək üçün göstəricilərin sabitliyini idarə etmək üçün hazırlıq proses sistemi də çox vacibdir.
EGP-nin kimyəvi fəaliyyətinə və keyfiyyət tələblərinə görə, EGP hazırlığı üçün istehsal sistemi, xüsusən də aşağı saflaşdırma, yüksək saflaşdırma, yüksək təmizlik və yüksək keyfiyyətli tutarlılığın tələblərinə cavab verməlidir və istehsal edilmiş komponentlərin inşası yarımkeçirici istehsal sənayesinin standartlarına cavab verməlidir.
Tez-tez "yüksək saflıq" olaraq adlandırdığımız şey, yüksək saflıq qazı, yüksək saflıq kimyəvi maddələr və s. Kimi bir maddənin saflığının tərifidir, yüksək saflıq maddələri və s. Saflıq maddələrinə tətbiq olunan proses sistemi və ya yüksək saflıq sistemləri və yüksək saflıq klapanları kimi yüksək saflıq kimidir. Elektron ixtisas qazının hazırlanması sistemləri yüksək təmizlik tətbiqetmələri, klapanlar və digər maye komponentləri, yəni yüksək təmizlik materialları və təmiz istehsal prosesləri ilə işlənmiş və təmizləyici proseslər və təmizlik üçün qurulmuşdur. Yüksək möhürləmə performansı ilə. Bu maye komponentləri yarımkeçirici sənayesinin mühəndis və tikinti tələblərindən istifadə edərək tətbiqin proses axını yolunu ödəmək üçün hazırlanmışdır.
Yüksək saflıq boru kəmərləri
VCR Metal Gasket Üz möhür əlaqələri və avtomatik bələdçi butt qaynaq bağlantıları, bundan sonra da fasilə zonası, həm də yüksək möhürləmə püresi, həm də yüksək möhürləmə performansını ödəmək qabiliyyəti səbəbindən tələb olunan maye sisteminin təmizlik prosesi tələbləri geniş istifadə olunur. Təkrarlanan və ardıcıl əlaqə və möhürləmə performansı hər dəfə deformasiya edilmiş contanın çıxarıldığı və dəyişdirildiyi zaman arxayındır.
Borular avtomatik orbital qaynaq sistemindən istifadə edərək qaynaqlanır. Boru içərisində və xaricində yüksək saflıq qazı ilə qorunur. Volfram elektrodu yüksək keyfiyyətli qaynaq üçün orbit boyunca fırlanır. Tamamilə avtomatlaşdırılmış orbital qaynaq, digər materialları təqdim etmədən boru əriyir, incə divarlı boru dəfələrlə idarə etməklə yüksək keyfiyyətli bir qaynaq əldə edərək, əl qaynaqla nail olmaq çətindir.
Vcr metal gasket üz möhür bağlantısı
Boruların avtomatik orbital butt qaynaq bağlantısı
Yüksək saflıq klapanları
Yanan, partlayıcı, aşındırıcı və zəhərli elektron ixtisas qazlarının kimyəvi fəaliyyəti klapanın möhürlənməsinə yüksək tələbat yerləşdirir. Sızdırmazlıq etibarlılığını yaxşılaşdırmaq üçün, xarici sızmağın qarşısını almaq üçün qablaşdırma klapanlarının tələbi, yəni klapan kökü və ya metal körüklər və ya metal diafraqmadan istifadə edərək möhürün və ya metal diafraqmandan istifadə edərək, kilsə gövdəsi və möhür deformasiyasına görə sızmağın aradan qaldırılması. Bellows möhürlənmiş və diafraqma möhürlənmiş klapanlar, möhürlərin daha böyük etibarlılığı və klapan internallarının daha asan təmizlənməsi və təmizlənməsi və təmizlənməsi və təmizlənməsi və təmizlənməsi və təmizlənməsi ilə müqayisədə yüksək saflıq tətbiqləri üçün proses sistemlərində istifadə olunur.
Bellows möhürlənmiş klapanlar yavaş açılış və axın tənzimləməsinə imkan verən bir qablaşdırıcı iynə klapanının inşasıdır. Təhlükəsizlik axını tələbləri və ya yüksək təhlükəsizlik tələbləri olan prekursor mənbəyi şüşələri ilə elektron ixtisas qazının doldurulması üçün istifadə olunur. Bütün metal gövdə ucu möhürləri son dərəcə aşağı işləmə temperaturuna imkan verir və boru kəməri üçün kriogen damıbağalarından sonra hazır məhsul tanklarında elektron ixtisas qazlarının kriogen mayeləşdirilməsi üçün istifadə olunur.
Baharsız Diafraqma Seal Valve, çatdırılma boru kəmərində avtomatik idarə olunan bir keçid klapan kimi istifadə üçün 1/4 "Snap-Açıq klapandır. Onlar, sadə daxili axını yolları, kiçik daxili həcm və təmizlənmə və dəyişdirmə asanlığı səbəbindən çox yüksək təzyiq, yüksək təmizlik tətbiqlərində istifadə olunur.
Kök ucu ilə bağlanan diafraqma möhürlənmiş klapanlar yavaş-yavaş aça bilər və boş olmayan diafraqma möhürlənmiş klapanlardan daha yüksək əməliyyat təzyiqlərində istifadə edilə bilər. Onlar yüksək təzyiqli elektron ixtisas qazının doldurulması və ya prekursor mənbəyi şüşələrində geniş istifadə olunur.
İkinci dərəcəli SEAL Bellows valve-də yalnız -200 dərəcə ultra aşağı temperatur proses sistemlərində istifadə edilə bilməz, həm də təhlükəli medianın atmosferə sızmasının qarşısını alır. Adətən Sile Doldurma Sistemi kimi çox təhlükəli elektron xüsusi qazlar üçün istifadə olunur.
SHENZHEN WOFEI TEXNO TEXNO TEXNO TECHNO TECHNOny Co, Ltd, Yarımkeçirici, LED, DRAM, TFT-LCD bazarları üçün material, qaz təchizatı sistemləri və qaz mühəndisliyi, məhsullarınızı sənayenin ön planasına itələmək üçün sizə lazımi materialları təqdim edə bilərik. Yalnız yarı dirijor elektron ixtisas qazları üçün geniş çeşidli klapan və armatur təmin edə bilmərik, lakin müştərilərimiz üçün qaz boru kəməri və avadanlıqların quraşdırılması da onu da edə bilərik. Bu sahədə hər hansı bir ehtiyacınız varsa, 27919860-da bizimlə əlaqə saxlayın.
Time vaxt: İyul-19-2023