Yüksək təmizlik qaz boru texnologiyası, tələb olunan yüksək saflıq qazını istifadə nöqtəsinə çatdırmaq və hələ də ixtisaslı keyfiyyəti qorumaq üçün əsas texnologiya olan yüksək təmizlik qaz təchizatı sisteminin vacib bir hissəsidir; Yüksək təmizlik qaz kəmər texnologiyası sistemin düzgün dizaynı, fitinqlər və aksesuarların, tikinti və quraşdırma və sınaqların seçilməsi daxildir. Son illərdə geniş miqyaslı inteqrasiya edilmiş sxemlər tərəfindən təmsil olunan mikroelektronik məhsullar istehsalında yüksək təmizlik qazının təmizlik və çirkli qazların təmizlənməsi və çirkli qazalarına ciddi tələblər, getdikcə daha da yüksək saflıq qazlarının boru texnologiyasını əldə etdi və vurğuladı. Aşağıdakılar, maddi seçimdən yüksək təmizlik qaz kəmərinin qısa bir icmalıof İnşaat, habelə qəbul və gündəlik idarəetmə.
Ümumi qazların növləri
Elektronika sənayesində ümumi qazların təsnifatı:
Ümumi qazlar(Toplu qaz): hidrogen (h2), nitrojon (n2), oksigen (o2), argon (a2) və s.
İxtisas qazısih4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,Hcl,CF4 ,NH3,Pocl3, Sih2cl2 Sihcl3,NH3, Bcl3 ,Sif4 ,Clf3 ,Cığır,C2F6, N2o,F2,Hf,Hbr sf6...... və s.
Xüsusi qazların növləri ümumiyyətlə korroziv kimi təsnif edilə bilərqaz, zəhərliqaz, yananqaz, yananqaz, inertqazvə s. Tez-tez istifadə olunan yarımkeçirici qazlar ümumiyyətlə aşağıdakı kimi təsnif edilir.
(i) aşındırıcı / zəhərliqaz: Hcl, bf3, Wf6, Hbr, sih2Cl2, Nh3, PH3, Cl2, Bcl3... və s.
(ii) Yanma qabiliyyətiqaz: H2, Ch4, Sih4, PH3, Ash3, sih2Cl2, B2H6, Ch2f2,Chat3F, co ... və s.
(iii) yanma qabiliyyətiqaz: O2, Cl2, N2O, nf3... və s.
(iv) inertqaz: N2, Cf4, C2F6, C4F8,Sf6, Co2, Ne, kr, o ... və s.
Bir çox yarımkeçirici qaz insan bədəni üçün zərərlidir. Xüsusilə, bu qazlardan bəziləri, məsələn, sih4 kortəbii yanma, bir sızma, havadakı oksigenlə şiddətlə reaksiya verəcək və yanmağa başlayacaq; və kül3Yüksək zəhərli, hər hansı bir cüzi sızma insan həyatı riskinə səbəb ola bilər, bu açıq təhlükələrdən qaynaqlanır, buna görə sistem dizaynının təhlükəsizliyinə tələblər xüsusilə yüksəkdir.
Qazların tətbiqi sahəsi
Müasir sənayenin əhəmiyyətli bir əsas xammalı olaraq, qaz məhsulları geniş istifadə olunur və metallurgiya, polad, neft, kimya sənayesi, maşın, elektronika, keramika, tikinti materialları, tikinti, tibbi sektorlarda çox sayda ümumi qaz və ya xüsusi qaz istifadə olunur. Qazın tətbiqi, xüsusən də bu sahələrin yüksək texnologiyasına əhəmiyyətli təsir göstərir və onun əvəzolunmaz xammal qazı və ya prosesi qazıdır. Yalnız müxtəlif yeni sənaye sektorlarının və müasir elm və texnologiyanın ehtiyacları və təbliği ilə, qaz sənayesi məhsulları müxtəlif, keyfiyyət və miqdar baxımından sıçrayış və hüdudları ilə hazırlana bilər.
Mikroelektronika və yarımkeçirici sənayesində qaz tətbiqi
Qazın istifadəsi həmişə yarımkeçirici prosesində mühüm rol oynamışdır, xüsusən də yarımkeçirici proses ənənəvi Ulsi, TFT-LCD-dən hazırlanan mikro-elektro-mexaniki (MEMS) sənayesinə, məhsulların istehsal prosesi kimi istifadə olunan semis-lcd (MEMS) sənayesində geniş istifadə olunur. Qazın saflığı komponentlərin və məhsul məhsuldarlığının performansına dair qətiyyətli təsir göstərir və qaz tədarükünün təhlükəsizliyi kadrların sağlamlığı və bitki əməliyyatlarının təhlükəsizliyi ilə bağlıdır.
Yüksək təmizlik qazı nəqliyyatında yüksək saflıq boru kəmərinin əhəmiyyəti
Paslanmayan polad ərimə və material hazırlamaq prosesində, təxminən 200 q qaz hər ton üçün udula bilər. Paslanmayan poladdan işləndikdən sonra, yalnız müxtəlif çirkləndiricilərlə səthi yapışqan deyil, həm də metal lattice də müəyyən miqdarda qaz udu. Boru kəməri ilə hava axını olduqda, metal qazın bu hissəsini özündə cəmləşdirir, təmiz qazı çirkləndirən hava axını yenidən daxil edəcəkdir. Borudakı hava axını pozulduqda, boru təzyiq altında olan və hava axını keçdikdə, boru ilə adsorbozu olan qazın pozulmasına səbəb olan qazın təzyiq düşməsi halına düşür. Eyni zamanda, adsorbsiya və qətnamə təkrarlanır ki, borunun daxili səthindəki metal da müəyyən miqdarda toz istehsal edir və bu metal toz hissəcikləri də boru içərisindəki təmiz qazı da çirkləndirir. Borunun bu xüsusiyyəti, daşınmış qazın saflığını təmin etmək üçün vacibdir ki, bu da borunun daxili səthinin çox yüksək bir hamarlığını deyil, həm də yüksək aşınma müqavimətini tələb edir.
Güclü aşındırıcı performanslı qazdan istifadə edildikdə, boru kəməri üçün korroziyaya davamlı paslanmayan polad borular istifadə edilməlidir. Əks təqdirdə, boru korroziya səbəbindən daxili səthdə korroziya ləkələri istehsal edəcək və ciddi hallarda metal soyma və ya perforasiya sahəsi olacaq, bu da təmiz qazı çirkləndirəcək saf qazı çirkləndirəcəkdir.
Yüksək saflıq və yüksək təmizlik qazının ötürülməsi və böyük axın dərəcələrinin paylanması boru kəmərləri.
Prinsipcə, bunların hamısı qaynaqlanır və istifadə olunan boruların qaynaq tətbiq olunduğu zaman təşkilatda dəyişiklik olmaması tələb olunur. Çox yüksək bir karbon tərkibli materiallar qaynaqlandıqda qaynaqlı hissələrin hava keçiriciliyinə məruz qalır, bu da boru içərisində və xaricində qazların, qurbanlıq və təmizliyini məhv edən, nəticədə bütün səylərimizi itirir.
Xülasə, yüksək təmizlik qazı və xüsusi qaz ötürücü boru kəməri üçün yüksək saflıq paslanmayan poladdan hazırlanmış boru kəməri sistemi (borular, fitinqlər, klapanlar, vmb, vmb, vmb, vmb, vmb, vmb, vmb, vmb, vmb, vmb, vmb), həyati bir missiyanı tutur.
Transmissiya və paylama boru kəmərləri üçün təmiz texnologiyanın ümumi konsepsiyası
Boru kəmərləri ilə yüksək saf və təmiz qaz bədən ötürülməsi, qazın üç aspekti üçün müəyyən tələb və ya nəzarətin olduğu deməkdir.
Qaz saflığı: GGA-larda çirk atmosferinin tərkibi: Qazdakı çirk atmosferinin tərkibi, ümumiyyətlə, 99.99999% kimi qaz saflığının faizi kimi ifadə edildi, eyni zamanda 99.99999%, ppm, ppb, ppt.
Qurutma: qazdakı izin nəmliyi və ya adətən, atmosfer təzyiqi şeh nöqtəsi kimi şeh nöqtəsi baxımından, nəmlik adlandırılan məbləğin miqdarı - 70. C.
Təmizlik: qazda olan çirkləndirici hissəciklərin sayı, μm hissəciklərinin ölçüsü, nə qədər hissəciklər / m3, sıxılmış hava üçün, ümumiyyətlə, yağ tərkibini əhatə edən qeyri-adi qatı qalıqların nə qədər mq / m3-ə qədər ola bilməyən qatı qalıqları baxımından ifadə edildi.
Çirkləndirici ölçülü təsnifatı: Pollutant hissəcikləri, əsasən, metal hissəciklər, atmosfer soot hissəcikləri, eləcə də mikroorqanizmlər, fagon və nəm tərkibli qaz kondensasiyası damlaları və s.
a) Böyük hissəciklər - 5 mm-dən yuxarı hissəcik ölçüsü
b) hissəcik - 0.1μm-5μm arasındakı material diametri
c) Ultra-mikro hissəciklər - 0.1μm-dən az hissəcik ölçüsü.
Bu texnologiyanın tətbiqini artırmaq, hissəcik ölçüsü və μm bölmələri haqqında qavrayış və mkm bölmələri haqqında anlayış edə bilmək üçün, müəyyən bir hissəcik statusu istinad üçün verilir
Aşağıdakılar xüsusi hissəciklərin müqayisəsidir
| Ad / hissəcik ölçüsü (μm) | Ad / hissəcik ölçüsü (μm) | Ad / hissəcik ölçüsü (μm) |
| Virus 0.003-0.0 | Aerosol 0.03-1 | Aerosolizasiya edilmiş mikrodroplet 1-12 |
| Nüvə yanacağı 0.01-0.1 | Boya 0.1-6 | AS 1-200 uçmaq |
| Karbon Qara 0.01-0.3 | Süd tozu 0.1-10 | Pestisid 5-10 |
| Qatran 0.01-1 | Bakteriya 0.3-30 | Sement tozu 5-100 |
| Siqaret tüstüsü 0.01-1 | Qum tozu 0.5-5 | Polen 10-15 |
| Silikon 0.02-0.1 | Pestiside 0.5-10 | İnsan saçları 50-120 |
| Kristallaşdırılmış duz 0.03-0.5 | Konsentrasiya edilmiş kükürd tozu 1-11 | Dəniz Qumu 100-1200 |
Time vaxt: iyun-14-2022