Yüksək təmizlikli qaz boru kəməri texnologiyası yüksək təmizlikli qaz təchizatı sisteminin mühüm hissəsidir, bu, tələb olunan yüksək təmizlikli qazı istifadə nöqtəsinə çatdırmaq və hələ də keyfiyyətli keyfiyyəti saxlamaq üçün əsas texnologiyadır;Yüksək təmizlikli qaz boru kəmərləri texnologiyasına sistemin düzgün dizaynı, fitinqlər və aksesuarların seçimi, tikinti və quraşdırma və sınaq daxildir.Son illərdə geniş miqyaslı inteqral sxemlərlə təmsil olunan mikroelektronika məhsullarının istehsalında yüksək təmizlikli qazların saflığına və çirkliliyinə dair getdikcə daha sərt tələblər yüksək təmizlikli qazların boru kəmərləri texnologiyasını getdikcə daha çox narahat edir və vurğulayır.Aşağıda material seçimindən yüksək təmizlikli qaz boru kəmərlərinin qısa icmalı verilmişdirof tikinti, eləcə də qəbul və gündəlik idarəetmə.
Ümumi qazların növləri
Elektron sənayesində ümumi qazların təsnifatı:
Ümumi qazlar（Kütləvi qaz): hidrogen (H2), azot (N2), oksigen (O2), arqon (A2) və s.
Xüsusi qazlarSiH-dir4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SİF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… və s.
Xüsusi qazların növləri ümumiyyətlə aşındırıcı kimi təsnif edilə bilərqaz, Toksikqaz, alışanqaz, yanarqaz, inertqazvə s. Ümumi istifadə olunan yarımkeçirici qazlar ümumiyyətlə aşağıdakı kimi təsnif edilir.
(i) Aşındırıcı / zəhərliqaz: HCl, BF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3… və s.
(ii) Yananlıqqaz: H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2,CH3F, CO... və s.
(iii) yanma qabiliyyətiqaz: O2, Cl2, N2O, NF3… və s.
(iv) İnertqaz: N2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, Ne, Kr, He... və s.
Bir çox yarımkeçirici qazlar insan orqanizmi üçün zərərlidir.Xüsusilə bu qazların bəziləri, məsələn, SiH4 spontan yanma, bir sızma havadakı oksigenlə şiddətlə reaksiya verəcəyi və yanmağa başlayacağı müddətcə;və ASH3yüksək zəhərli, hər hansı bir cüzi sızma insan həyatı riskinə səbəb ola bilər, bu açıq təhlükələrə görədir, buna görə sistemin dizaynının təhlükəsizliyinə tələblər xüsusilə yüksəkdir.
Qazların tətbiq dairəsi
Müasir sənayenin mühüm əsas xammalı kimi qaz məhsullarından geniş istifadə olunur və çoxlu sayda ümumi qazlar və ya xüsusi qazlar metallurgiya, polad, neft, kimya sənayesi, maşınqayırma, elektronika, şüşə, keramika, tikinti materialları, tikinti sahələrində istifadə olunur. , qida emalı, tibb və tibb sektorları.Qazın tətbiqi xüsusilə bu yataqların yüksək texnologiyasına mühüm təsir göstərir və onun əvəzsiz xammal qazı və ya texnoloji qazıdır.Yalnız müxtəlif yeni sənaye sahələrinin və müasir elm və texnologiyanın ehtiyacları və təşviqi ilə qaz sənayesi məhsulları çeşid, keyfiyyət və kəmiyyət baxımından sıçrayışlarla inkişaf etdirilə bilər.
Mikroelektronika və yarımkeçirici sənayesində qazın tətbiqi
Qazın istifadəsi yarımkeçirici prosesində həmişə mühüm rol oynamışdır, xüsusən də yarımkeçirici proses ənənəvi ULSI, TFT-LCD-dən tutmuş hazırkı mikro-elektro-mexanika (MEMS) sənayesinə qədər müxtəlif sənaye sahələrində geniş istifadə edilmişdir. məhsulların istehsal prosesi kimi sözdə yarımkeçirici prosesdən istifadə edən.Qazın təmizliyi komponentlərin işinə və məhsulun məhsuldarlığına həlledici təsir göstərir və qaz təchizatının təhlükəsizliyi personalın sağlamlığı və zavodun fəaliyyətinin təhlükəsizliyi ilə bağlıdır.
Yüksək təmizlikli qaz nəqlində yüksək təmizlik borularının əhəmiyyəti
Paslanmayan poladdan ərimə və material hazırlama prosesində ton başına təxminən 200 q qaz udmaq olar.Paslanmayan poladdan emal edildikdən sonra nəinki müxtəlif çirkləndiricilərlə yapışqan səthi, həm də metal qəfəsdə də müəyyən miqdarda qaz udur.Boru kəməri ilə hava axını olduqda, metal qazın bu hissəsini udur və təmiz qazı çirkləndirərək yenidən hava axınına daxil olur.Borudakı hava axını fasiləsiz axın olduqda, boru təzyiq altında qazı adsorbsiya edir və hava axını dayandıqda, boru ilə adsorbsiya olunan qaz həll etmək üçün təzyiq düşməsi meydana gətirir və həll olunan qaz da borudakı təmiz qaza daxil olur. çirkləri kimi.Eyni zamanda, adsorbsiya və rezolyusiya təkrarlanır ki, borunun daxili səthindəki metal də müəyyən miqdarda toz əmələ gətirir və bu metal toz hissəcikləri də borunun içindəki təmiz qazı çirkləndirir.Borunun bu xarakteristikası daşınan qazın təmizliyini təmin etmək üçün vacibdir, bu, yalnız borunun daxili səthinin çox yüksək hamarlığını deyil, həm də yüksək aşınma müqavimətini tələb edir.
Güclü korroziyaya malik qazdan istifadə edildikdə, boru kəmərləri üçün korroziyaya davamlı paslanmayan polad borulardan istifadə edilməlidir.Əks halda, boru korroziyaya görə daxili səthdə korroziya ləkələri yaradacaq və ciddi hallarda, paylanacaq təmiz qazı çirkləndirəcək geniş bir metal soyulması və ya hətta perforasiya sahəsi olacaq.
Böyük axınlı yüksək təmizlikli və yüksək təmizliyə malik qaz ötürmə və paylayıcı boru kəmərlərinin birləşdirilməsi.
Prinsipcə, onların hamısı qaynaqlanır və qaynaq tətbiq edildikdə, istifadə olunan boruların təşkilatında heç bir dəyişiklik olmaması tələb olunur.Həddindən artıq karbon tərkibli materiallar qaynaq zamanı qaynaqlanmış hissələrin hava keçiriciliyinə məruz qalır, bu da borunun içərisində və xaricində qazların qarşılıqlı nüfuzunu təmin edir və ötürülən qazın saflığını, quruluğunu və təmizliyini pozur, nəticədə qazın itirilməsinə səbəb olur. bütün səylərimiz.
Xülasə, yüksək təmizlikli qaz və xüsusi qaz ötürmə boru kəməri üçün yüksək təmizlikli paslanmayan polad borudan xüsusi emaldan istifadə etmək, yüksək təmizlikdə boru kəməri sistemini (borular, fitinqlər, klapanlar, VMB, VMP daxil olmaqla) etmək lazımdır. yüksək təmizlikli qaz paylanması mühüm missiya tutur.
Ötürücü və paylayıcı boru kəmərləri üçün təmiz texnologiyanın ümumi konsepsiyası
Boru kəmərləri ilə yüksək təmiz və təmiz qaz gövdəsinin ötürülməsi nəql olunacaq qazın üç aspekti üçün müəyyən tələblərin və ya nəzarətin olması deməkdir.
Qazın təmizliyi: gQaz təmizliyindəki çirkli atmosferin məzmunu: Qazdakı çirkli atmosferin tərkibi, adətən qazın təmizliyinin faizi kimi ifadə edilir, məsələn, 99,9999%, həmçinin çirkli atmosfer tərkibinin həcm nisbəti kimi ifadə edilir ppm, ppb, ppt.
Quruluq: qazdakı iz nəminin miqdarı və ya rütubət adlanan miqdar, adətən şeh nöqtəsi ilə ifadə edilir, məsələn, atmosfer təzyiqi şeh nöqtəsi -70.C.
Təmizlik: qazın tərkibində olan çirkləndirici hissəciklərin sayı, mkm-lik hissəcik ölçüsü, sıxılmış hava üçün nə qədər hissəcik/M3 ifadə edilməli, adətən neftin tərkibini əhatə edən qaçınılmaz bərk qalıqların neçə mq/m3 nisbətində ifadə edilir. .
Çirkləndirici ölçü təsnifatı: çirkləndirici hissəciklər, əsasən boru kəmərinin yuyulmasına, aşınmasına, metal hissəciklərinin yaratdığı korroziyaya, atmosfer his hissəciklərinə, həmçinin mikroorqanizmlərə, faqlara və rütubətli qaz kondensasiya damcılarına və s. bölünür
a) Böyük hissəciklər – 5μm-dən yuxarı hissəcik ölçüsü
b) Hissəcik – materialın diametri 0,1μm-5μm arasındadır
c) Ultra-mikro hissəciklər – hissəcik ölçüsü 0,1μm-dən azdır.
Bu texnologiyanın tətbiqini artırmaq, hissəcik ölçüsünü və μm vahidlərini qavrayışla başa düşmək üçün istinad üçün xüsusi hissəcik statusu dəsti verilir.
Aşağıda xüsusi hissəciklərin müqayisəsi verilmişdir
| Adı /hissəcik ölçüsü (µm) | Adı /hissəcik ölçüsü (µm) | Adı/hissəcik ölçüsü (µm) |
| Virus 0.003-0.0 | Aerozol 0,03-1 | Aerozollaşdırılmış mikrodamcı 1-12 |
| Nüvə yanacağı 0,01-0,1 | Boya 0.1-6 | Uçucu kül 1-200 |
| Karbon qara 0,01-0,3 | Süd tozu 0,1-10 | Pestisid 5-10 |
| Qətran 0,01-1 | Bakteriyalar 0,3-30 | Sement tozu 5-100 |
| Siqaret tüstüsü 0,01-1 | Qum tozu 0,5-5 | Polen 10-15 |
| Silikon 0,02-0,1 | Pestisid 0,5-10 | İnsan saçı 50-120 |
| Kristallaşdırılmış duz 0,03-0,5 | Konsentratlı kükürd tozu 1-11 | Dəniz qumu 100-1200 |
Göndərmə vaxtı: 14 iyun 2022-ci il